日本 HUGLE 藤宫 HS-1840 晶圆扩容设备
2025-08-29 11:47:40
周海峰
日本 HUGLE 藤宫 HS-1840 晶圆扩容设备
产品概述
电机驱动的载物台升降机可实现精确的行程设置
载物台行程调节机构（可配置为1 mm增量/Max80 mm）
通过触摸屏控制
可扩展配方存储（4 个配方）
薄膜预热机构（带定时器）
载物台加热（最高 100°C）
可变级爬升速度机构
薄膜自动切割机构
最大晶圆尺寸 8”
兼容各种扩展环和框架
可用于晶圆和芯片转移应用
